Please use this identifier to cite or link to this item: http://kurumsalarsiv.tenmak.gov.tr/20.500.12878/1811
Title: Material thickness measurements of thin films using proton backscattering
Authors: Sanalan, Yalçın
Bölüm Yok
Keywords: Proton backscattering
Proton geri saçılması
Material thickness measurements
Malzeme kalınlık ölçümleri
Thin films
İnce film
Issue Date: Oct-1979
Publisher: Turkish Atomic Energy Commission, Ankara Nuclear Research and Traning Center
Citation: Sanalan, Y. (1979). Material thickness measurements of thin films using proton backscattering. Technical Journal, 6(3), 78-86.
Abstract: 0.5 MeV Van de Graaff hızlandırıcısı ve proton geri saçılması tekniği kullanılarak, 0.08- 1.50 mg/cm2 aralığında maddesel kalınlıklar ölçüldü. Sistemin enerji ve kalınlık ayırma gücü sırasıyla 23 KeV ve 0.03 mg/cm2 olarak bulundu. Sonuçlar, deneysel hata sınırları içerisinde, optik interferometre ölçüm sonuçlan ile uyumlu bulundu. Bu teknik özellikle, bir taşıyıcı üzerindeki çok katlı ince film kalınlıklarını filmi bozmadan ölçmede yararlıdır.
Material thicknesses in the range of 0.08- 1.50 mg/cm2 were measured using a 0.5 MeV Van de Graaff accelerator and proton backscattering technique. The energy thickness resolutions of the system were found to be 23 KeV and 0.03 mg/cm2 respectively. Measured thicknesses were in agreement with optical interferometry measurements. within the limits of experimental error. The technique is especially useful for non - destructive measurements of multiple - layer thin film thicknesses on substrates.
URI: http://kurumsalarsiv.tenmak.gov.tr/20.500.12878/1811
Appears in Collections:Cilt 6 - Sayı: 3 (1979)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
tj_1979_v6_s3_2.pdfYayıncı Sürümü3.02 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.