Cilt 6 - Sayı: 3 (1979)
Permanent URI for this collection
Browse
Browsing Cilt 6 - Sayı: 3 (1979) by All Authors "Sanalan, Yalçın"
Now showing 1 - 1 of 1
Results Per Page
Sort Options
Item Material thickness measurements of thin films using proton backscattering(Turkish Atomic Energy Commission, Ankara Nuclear Research and Traning Center, 1979-10) Sanalan, Yalçın; Bölüm Yok0.5 MeV Van de Graaff hızlandırıcısı ve proton geri saçılması tekniği kullanılarak, 0.08- 1.50 mg/cm2 aralığında maddesel kalınlıklar ölçüldü. Sistemin enerji ve kalınlık ayırma gücü sırasıyla 23 KeV ve 0.03 mg/cm2 olarak bulundu. Sonuçlar, deneysel hata sınırları içerisinde, optik interferometre ölçüm sonuçlan ile uyumlu bulundu. Bu teknik özellikle, bir taşıyıcı üzerindeki çok katlı ince film kalınlıklarını filmi bozmadan ölçmede yararlıdır.