Material thickness measurements of thin films using proton backscattering

Simple item page
dc.contributor.authorSanalan, Yalçın
dc.contributor.departmentBölüm Yoktr_TR
dc.date.accessioned2021-11-17T07:37:42Z
dc.date.available2021-11-17T07:37:42Z
dc.date.issued1979-10
dc.description.abstract0.5 MeV Van de Graaff hızlandırıcısı ve proton geri saçılması tekniği kullanılarak, 0.08- 1.50 mg/cm2 aralığında maddesel kalınlıklar ölçüldü. Sistemin enerji ve kalınlık ayırma gücü sırasıyla 23 KeV ve 0.03 mg/cm2 olarak bulundu. Sonuçlar, deneysel hata sınırları içerisinde, optik interferometre ölçüm sonuçlan ile uyumlu bulundu. Bu teknik özellikle, bir taşıyıcı üzerindeki çok katlı ince film kalınlıklarını filmi bozmadan ölçmede yararlıdır.tr_TR
dc.description.abstractMaterial thicknesses in the range of 0.08- 1.50 mg/cm2 were measured using a 0.5 MeV Van de Graaff accelerator and proton backscattering technique. The energy thickness resolutions of the system were found to be 23 KeV and 0.03 mg/cm2 respectively. Measured thicknesses were in agreement with optical interferometry measurements. within the limits of experimental error. The technique is especially useful for non - destructive measurements of multiple - layer thin film thicknesses on substrates.tr_TR
dc.identifier.citationSanalan, Y. (1979). Material thickness measurements of thin films using proton backscattering. Technical Journal, 6(3), 78-86.tr_TR
dc.identifier.endpage86tr_TR
dc.identifier.issue3tr_TR
dc.identifier.startpage78tr_TR
dc.identifier.urihttp://kurumsalarsiv.tenmak.gov.tr/handle/20.500.12878/1811
dc.identifier.volume6tr_TR
dc.language.isoengtr_TR
dc.publisherTurkish Atomic Energy Commission, Ankara Nuclear Research and Traning Centertr_TR
dc.relation.journalTechnical Journaltr_TR
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccesstr_TR
dc.subjectProton backscatteringtr_TR
dc.subjectProton geri saçılmasıtr_TR
dc.subjectMaterial thickness measurementstr_TR
dc.subjectMalzeme kalınlık ölçümleritr_TR
dc.subjectThin filmstr_TR
dc.subjectİnce filmtr_TR
dc.titleMaterial thickness measurements of thin films using proton backscatteringtr_TR
dc.typearticletr_TR
Files
Original bundle
Now showing 1 - 1 of 1
Thumbnail Image
Name:
tj_1979_v6_s3_2.pdf
Size:
2.95 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Yayıncı Sürümü
Download
License bundle
Now showing 1 - 1 of 1
No Thumbnail Available
Name:
license.txt
Size:
3.36 KB
Format:
Item-specific license agreed upon to submission
Description:
Download
Collections
Cilt 6 - Sayı: 3 (1979)